旋轉靶材是磁控的靶材。靶材做成圓筒型的,里面裝有靜止不動的磁體,以慢速轉動。其優點是利用率高(70%以上),缺點是造價高。
產品名稱:鋯管靶,鋯旋轉靶材
牌號:Zr702(R60702),Zr705(R60705)
純度:≥99.95%
晶粒度:≤100um
用途:太陽能電池,建筑玻璃,汽車玻璃,半導體,平板電視等。
產品規格:
外徑-157/內徑-133×3191mm;
外徑-157/內徑-133×3855mm.
外徑-180/內徑-160×1800mm
也可以根據客戶的具體要求加工。
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