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旋轉靶材

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鈦旋轉靶材

發布日期:2020-03-11 作者:admin 點擊:

旋轉靶材是磁控的靶材。靶材做成圓筒型的,里面裝有靜止不動的磁體,以慢速轉動。其優點是利用率高(70%以上),缺點是造價高。


產品名稱:鈦管靶(鈦旋轉靶材

材質:純鈦

純度:≥99.5%

晶粒度:≤100um

生產工藝:鍛造、CNC加工

用途:太陽能電池,建筑玻璃,汽車玻璃,半導體,平板電視等。

產品規格:

外徑-157/內徑-133×3191mm;

外徑-157/內徑-133×3855mm.

外徑-180/內徑-160×1800mm

也可以根據客戶的具體要求定做加工。


真空鍍膜靶材利用率:

靶材形狀

靶材利用率

平面靶材

33%-40%

旋轉靶材

70%-80%

多弧靶材

65%-75%

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