旋轉靶材是磁控的靶材。靶材做成圓筒型的,里面裝有靜止不動的磁體,以慢速轉動。其優點是利用率高(70%以上),缺點是造價高。
產品名稱:鈦管靶(鈦旋轉靶材)
材質:純鈦
純度:≥99.5%
晶粒度:≤100um
生產工藝:鍛造、CNC加工
用途:太陽能電池,建筑玻璃,汽車玻璃,半導體,平板電視等。
產品規格:
外徑-157/內徑-133×3191mm;
外徑-157/內徑-133×3855mm.
外徑-180/內徑-160×1800mm
也可以根據客戶的具體要求定做加工。
真空鍍膜靶材利用率:
靶材形狀 | 靶材利用率 |
平面靶材 | 33%-40% |
旋轉靶材 | 70%-80% |
多弧靶材 | 65%-75% |
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