平面靶材主要是指具有一定厚度的圓形靶材及矩形靶材。平面靶材通過螺紋等方式與濺射設備相連接,在真空條件下濺射成膜層附著于基片上,再通過各種手段(刻蝕)對薄膜加工,以滿足不同需要。
產品名稱:鈦板靶 鈦平面靶材 鈦濺射靶材
材質:純鈦 (TA1/TA2),高純鈦(99.95%,99.99%,99.995%,99.999%)
純度:≥99.5%
晶粒度:≤100um
生產工藝:熱等靜壓工藝(HIP)
應用領域:裝飾行業、建筑玻璃、汽車玻璃、低輻射玻璃、平面顯示器、光學工業、光數據存儲行業等。